含氟废气治理的湿法净化技术采用水、碱性溶液或某些盐类溶液来吸收含氟废气中的氟化物，同时得到副产品氟硅酸、冰晶石、氟硅酸钠等。
含氟废气治理湿法净化技术的优点在于净化设备体积小，易实现，净化工艺过程可以连续操作和回收各种氟化物，净化效率高、效果好。湿法净化技术主要有水吸收法和碱吸收法两种。
水吸收法基于氟化氢和四氟化硅溶液极易溶于水，生成氟硅酸的特性，如下：
SIF4+2H2O=4HF+SIO2
2HF+SIF4=H2SIF6
3SIF4+2H2O=2H2FIF6+SIO2
其需要的设备有文丘里洗涤器、喷射式洗涤器、拨水轮吸收室、湍流塔、喷淋塔等。设备材质一般采用塑料、玻璃钢或合金钢，在实际应用中，经常会出现管道或设备堵塞，需要随时注意，用水吸收法净化含氟废气时，为了提高净化效率和操作效率，一般都采用多级吸收流程。
碱吸收法基于氟化氢与四氟化硅极易溶于水，又基于酸碱中和的原理，相对水吸收法而言，净化效率更高，可用于净化铝厂的氟化氢烟气，磷肥厂的四氟化硅废气，同时生成副产品冰晶石等氟化盐。
碱吸收法一般采用碳酸钠和氨水吸收。
碳酸钠洗涤电解铝厂烟气时，烟气中的氟化氢和碱液反应生成氟化钠，如下：
HF+Na2CO3=NaF+NaHCO3
2HF+Na2CO3=2NaF+CO2+H2O
当吸收液中NaF 达到一定浓度时，加入定量的偏铝酸钠可制得冰晶石。 氨水作为吸收剂，洗涤吸收钙镁磷肥生成中排出的含氟废气，反应生成NH4F ，析出硅胶，如下：
HF+NH3=NH4F
3SIF4+4NH3+(N+2)H2O=2（NH4）2SIF6+SIO2+nH2O
(NH4)2SIF6+4NH3+(N+2)H2O=6NH4F+SIO2+nH2O
生成的NH4F 溶液中，加入AL2(SO4)3和Na2SO4，生成冰晶石。
现今含氟废气治理考虑成本、操作、使用寿命及运行费用，绝大部分都是采用湿法净化技术。
