等离子净化器只是工业净化器中的一种，等离子净化器原理是：低温等离子净化器在进行工作的时候，在外加电场的作用下，介质放电会产生出大量的携能电子轰击污染物分子，让污染物分子电离、解离和激发，之后引发出一系列较为复杂的物理、化学反应，这时大分子污染物就会转变成小分子安全物质，同时也会使有毒有害的物质成为 无毒无害的或者是低毒低害的物质，终使得污染物能够被降解清除。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递包括：
(1) 电场+电子→高能电子
(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
